全自動槽式清洗機廣泛應用于集成電路、MEMS和光伏領域的CMP后清洗工藝。該清洗機可對晶圓片表面、背面、邊緣進行清潔。本機臺是IPC工業電腦加PLC控制的全自動控制系統。通過RCA清洗工藝的控制，超兆聲波的匹配應用，多組機械手系統的傳遞，實現“干進干出”的晶片清洗功能，減少了人為因素對清洗過程的干擾，滿足晶片的表面顆粒度和表面金屬殘留目標要求。
1. 適用場景
研磨、刻蝕、返工后等集成電路制造工藝的最終清洗
2. 工作原理
1) 自動槽式清洗機的工作原理主要是利用超聲波在液體中的空化作用，?通過高頻振動產生強大的沖擊波，?對物體表面進行深度清洗。?
2) 全自動槽式清洗機，?尤其是超聲波清洗機，?利用超聲波在液體中產生的空化作用，?這種作用能夠在液體內部形成微小的氣泡。?當這些氣泡在瞬間破裂時，?會產生強大的沖擊力，?對物體表面進行深度清潔。?此外，?超聲波的振動還能加速清洗液的流動，?對物體表面進行全面的沖洗，?從而達到高效清洗的目的。?這種清洗方式相比傳統方法，?具有清洗效果好、?效率高、?環保等優點。?
3) 全自動槽式清洗機通常由超聲波發生器、?換能器、?清洗槽、?清洗液循環系統等部分組成。?其中，?雙槽設計是其最大的特點，?可以同時對不同種類的物品進行清洗，?進一步提高工作效率。?此外，?全自動槽式清洗機還采用了全密封結構，?通過高效空氣過濾器吹入潔凈的空氣，?同時采用細管路抽風，?使清洗機相對室內環境形成正壓，?防止外界灰塵等雜質進入，?確保清洗質量。?
4) 全自動槽式清洗機的控制方式也實現了高度自動化，?通過可編程序控制器(PLC)與觸摸屏控制，?實現了從進料到出料的全程自動化操作。?操作人員可以通過觸摸屏方便地輸入所需的工藝程序，?并實時監控設備運行狀態，?保證了產品清洗質量的穩定性和操作的便捷性
3. 產品優勢
1、設備實現自動作業，自動過程控制工藝、干燥作業的濕法工藝解決方案
2、設備可依據客戶工藝需求設計對應模塊；主要由上下料口、機械臂、SPM/SC1/SC2等組成；
3、SC1槽可根據客戶要求定制不同頻率的超聲/兆聲
4、具備IPA Dry、Spin Dry選擇
5、可支持多批次清洗提升產量
6、化學槽支持自動換液、補液及定時/定量補液，自動洗槽功能
7、可根據不同廠務要求制定不同種類的排放方案
8、良好的設備穩定性和可靠性；
9、有效控制金屬、材料及微粒子的交叉污染
10、軟件和硬件的模塊化設計
11、軟硬件預留MES通訊接口
12、實時記錄生產數據，多種數據分析功能
13、選配SECS/GEM接口；
14、可實現工件數據追溯，具有過點信息、狀態監控、故障匯總、訂單下發等功能
4. 設備特點
? 視窗為雙層設計，操作安全
? 設備占地面積小
? 噴淋裝置噴淋均勻
? 加熱材料高純無污染，in-line加熱
? 有限控制金屬、材料及微粒子的交叉
? 溫度自動校準
? 軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全
? 支持SMIF自動傳輸
? 實時記錄生產數據，多種數據分析功能
? 軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
? 工藝柔性化設計，工藝更改方便迅速
? 優化配管設置，節約DIW消耗量
? 藥液濃度實時監控系統
? 多工藝數據庫，可供用戶適用和儲存
? 槽體流場控制技術
? 高效藥液回收系統
? Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度
? 較潔凈藥液回收利用，節約藥液使用
? 易燃化學品安全穩定加熱系統
? 易燃化學品搭載消防系統及切斷排風系統，符合消防安全
? 自主知識產權的軟件系統
? 系統自動排程，多工位并發處理，高效率運行
? 擁有多項軟件著作權
? 工藝預置，過程數據記錄和生產管理
? PC上位機和PLC觸摸屏的控制和人機交互界面
5. 安裝及售后
1） 委派具有豐富的調試經驗、業務精湛的技術人員在用戶工廠現場安裝、調試設備。
2） 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養、操作問題的分析和緊急處理程序。
3） 無償提供為期一年的技術支持與服務，一年后繼續提供終身技術服務。在質保期內，提供7*24小時內電話支持服務，24小時到現場反應時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務后24小時內到達現場。
可提供隨機備件、易損品及隨機工具。